| Título clave |
 Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS (En línea)
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| Otro título |
JM3 (Bellingham, Wash., En línea)
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| Datos publicación |
Bellingham, Wash. : SPIE, 2007-.
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| Frecuencia actual |
Trimestral
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| Tipo de contenido |
texto
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| Medio |
computadora
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| Soporte |
recurso en línea
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| Nota General |
Título de la página inicial de la revista (Sitio web del editor, visto en marzo 24, 2015)
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| Restricciones |
Acceso sólo para usuarios de REDUNAM
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| Nota otro form. |
También publicado en forma impresa
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| ISSN |
1932-5134
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| Tema |
Microelectrónica.
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Microlitografía.
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Microfabricación.
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| Organismo respons. |
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers..
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| Otras formas fìsic |
Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS 1932-5150.
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| Continúa de |
Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems.
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| Texto completo |
 Texto completo a través de SPIE (cubre 2002 v. 1 n. 1 - )
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