SERIUNAM - Vista completa del registro

Título clave	Microlithography world
Datos publicación	Port Washington, N.Y. : Penn Well, 1992-2008.
Frecuencia actual	Trimestral
Tipo de contenido	texto
Medio	sin medio
Soporte	volumen
Nota General	Título de la cubierta
	Inicia en 1992 con el vol. 1, no. 1, cierra en 2008 con el vol. 17, no. 4
Cobertura índices	INSPEC
ISSN	1074-407X
Tema	Semiconductores - Diseño y construcción.
	Microlitografía.
	Máscaras (Electrónica)
Organismo respons.	International Society for Optical Engineering.
	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.

Fascículos	Año 2008
Fascículos	Año 2007
Fascículos	Año 2006
Fascículos	Año 2005
Fascículos	Año 2004
Fascículos	Año 2003
Fascículos	Año 2002
Fascículos	Año 2001
Fascículos	Año 2000
Fascículos	Año 1998
Fascículos	Año 1997
Fascículos	Año 1996
Fascículos	Año 1995
Fascículos	Año 1994
Fascículos	Año 1993

Universidad Nacional
Autónoma de México