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Universidad Nacional
Autónoma de México
SERIUNAM - DGBSDI, UNAM
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WRD Palabras= Microlithography
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| # | Título clave | Datos publicación | Año | ISSN | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS (En línea) | Bellingham, Wash. : SPIE, 2007-. | 1932-5134 | ||
| 2 | Microlithography world | Port Washington, N.Y. : Penn Well, 1992-2008. | 1074-407X |
